氣相沉積爐整體結(jié)構(gòu)采用井式碳化爐結(jié)構(gòu)。主要由爐體系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、進(jìn)氣系統(tǒng)、過濾系統(tǒng)、操作平臺等部分組成組成。 　　氣相沉積爐系統(tǒng)主要由爐蓋、爐體、爐底、保溫層、發(fā)熱體、引電體組成，爐殼為圓柱形結(jié)構(gòu)，分爐體和爐頂蓋、爐底三部分，主要使用Q235鋼材，爐體、爐蓋、爐底均為夾層水冷結(jié)構(gòu)，夾層內(nèi)設(shè)置蛇形導(dǎo)流板，既可以引導(dǎo)水流流向又可以加強(qiáng)爐體壁抗壓能力，爐體上設(shè)置電極座、測溫座。抽氣口位于爐頂蓋或爐體側(cè)壁上。 　　加熱及保溫層，發(fā)熱體采用帶式合金發(fā)熱體，分三個(gè)加熱區(qū)，三角形加熱，分布在爐腔四周;保溫層：采用全纖維爐襯復(fù)合保溫結(jié)構(gòu)，既可以讓爐膛整潔成型又可以保持良好的保溫性能，成型后的保溫層分別固定在爐壁、爐蓋上，操作與維護(hù)非常方便。 　　氣相沉積爐的爐膽采用高溫耐熱鋼，為保證高溫真空下的工作強(qiáng)度，采用雙真空結(jié)構(gòu)。爐膽內(nèi)外同時(shí)抽真空，并設(shè)置手動及自動壓差閥。考慮真空放電現(xiàn)象，采用低電壓大電流的供電方式。

　　真空燒結(jié)爐作為一種比較特殊的精密性的設(shè)備，他們對于整個(gè)溫度控制的要求是非常高的。通常來說，如何有效地實(shí)現(xiàn)對整個(gè)溫度的控制，往往是整個(gè)真空爐里面的核心技術(shù)供應(yīng)，其實(shí)他的溫度控制基本上都是系統(tǒng)來進(jìn)行控制的，通過0.1%的智能化的溫度系統(tǒng)的控制儀表，按照工藝曲線的方式來進(jìn)行***控制，同樣這能夠有效地控制里面的一些溫度，整個(gè)降溫和升溫的過程也能夠不斷地自我運(yùn)行，停止PC機(jī)終端的自我控制，***實(shí)現(xiàn)工業(yè)曲線溫度的技術(shù)控制。 　　另外，整個(gè)真空燒結(jié)爐的真空氣氛爐的溫度控制的過程當(dāng)中，同樣也可以進(jìn)行系統(tǒng)設(shè)定，相對來說，這里面又有很多不同的曲線設(shè)定，而且每一條曲線設(shè)定都可以分為多個(gè)不同的控制階段，每一條溫度控制的曲線全部都是由一些PID參數(shù)設(shè)定的，相對來說，他們有著更多的系統(tǒng)化的設(shè)定，而且他們也擁有更多的自動協(xié)調(diào)的設(shè)定功能，整個(gè)系統(tǒng)能夠適合多種熱電偶以及預(yù)先設(shè)定的溫度的保溫曲線。 　　相對來說，在整個(gè)溫控儀輸出的電流信號觸發(fā)的單元，可以把他們變?yōu)橐恍╇妷盒盘枺敵隹刂频闹绷麟妷弘娏鳎瑥亩刂朴行У碾娏餍盘枺ＷC整個(gè)真空爐里面的溫度是按照設(shè)定的溫度來進(jìn)行保溫的，在完成了溫度控制之后，真空熔煉爐在整個(gè)真空下的溫度的傳感器和控制技術(shù)基本上對于整個(gè)熱處理的工藝要求就比較高，這也是一項(xiàng)*為關(guān)鍵的技術(shù)。