真空燒結爐是可進行真空燒結的的工藝，是半導體專用設備中一種新穎的工藝裝備，可用于其他領域內的真空熱處理工藝。當燒結爐出現冷卻水異常怎么辦? 　　發現工業爐出現異常時，要先確認加熱電源是否已經停止。如果真空燒結爐爐外發生漏水，冷卻水量異常時，應立即采取一些應急措施。如能保證水量，繼續保持真空;如不能則保持原狀，確認設備冷卻下來。 　　如果冷卻水出現異常時，真空燒結爐處于停止狀態，則立刻接通緊急用冷卻水。在保持高溫時，冷卻水就會停止，如果不能緊急送水，水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵極有可能會被損壞。 　　因此，在使用高溫熱處理爐、真空速凝爐等此類工業爐時，一定要注意冷卻水是否異常，要時常檢查設備，做好平日的維護，才能延長設備使用年限。

　　真空燒結爐結為了保證粉末成形坯在燒結過程中的脫蠟、還原、燒結、合金化、致密化等順利進行，在結構和功能上，必須滿足五點要求。 　　1、具有完善的脫蠟裝置或脫蠟帶，使燒結物體能順利脫蠟。 　　2、具有氣密性，也就是要具備隔絕真空燒結爐爐外空氣的性能，并保證爐內保護氣氛暢通。 　　3、各段溫度可控，各段氣氛可調，能充分保證燒結物體燒結時所需要的溫度，防止過度燒結，或者燒結不充分。 　　4、具有傳送裝置并且傳送速度可調，防止高溫熱處理爐爐內燒結物過多堵塞。 　　5、真空燒結爐還必須具有快速冷卻裝置，可將燒結零件快速冷卻到可以出爐的溫度。