真空燒結(jié)爐是可進行真空燒結(jié)的的工藝，是半導(dǎo)體專用設(shè)備中一種新穎的工藝裝備，可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理工藝。當(dāng)燒結(jié)爐出現(xiàn)冷卻水異常怎么辦? 　　發(fā)現(xiàn)工業(yè)爐出現(xiàn)異常時，要先確認加熱電源是否已經(jīng)停止。如果真空燒結(jié)爐爐外發(fā)生漏水，冷卻水量異常時，應(yīng)立即采取一些應(yīng)急措施。如能保證水量，繼續(xù)保持真空;如不能則保持原狀，確認設(shè)備冷卻下來。 　　如果冷卻水出現(xiàn)異常時，真空燒結(jié)爐處于停止?fàn)顟B(tài)，則立刻接通緊急用冷卻水。在保持高溫時，冷卻水就會停止，如果不能緊急送水，水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵極有可能會被損壞。 　　因此，在使用高溫?zé)崽幚頎t、真空速凝爐等此類工業(yè)爐時，一定要注意冷卻水是否異常，要時常檢查設(shè)備，做好平日的維護，才能延長設(shè)備使用年限。

　　高溫?zé)崽幚頎t加熱體出現(xiàn)故障應(yīng)該如何修理?像真空燒結(jié)爐此類的工業(yè)爐加熱體長期工作會出現(xiàn)變軟、膨脹、下墜等現(xiàn)象。那應(yīng)該如何讓修理呢? 　　為了使?fàn)t絲在高溫下具有一定的強度，先要設(shè)計好爐絲的結(jié)構(gòu)尺寸。安裝高溫?zé)崽幚頎t加熱體時要緊靠爐襯，在擱磚上要放平，留有膨脹空間。此外，為防止?fàn)t絲之間相互接觸，要墊隔離片。 　　爐絲有倒伏現(xiàn)象的，要檢查高溫?zé)崽幚頎t爐絲小鉤是否還有用，并且可以用氣焊使其變軟，再恢復(fù)到其原有的形狀和尺寸。如果同時使用兩根瓷管，瓷管端頭必須緊靠。 　　加熱體對一般斷頭可以直接進行焊補，對于局部損壞嚴重的，可采用換補一段的方法，不過要注意用于補焊的電阻絲的材料、直徑等要符合原技術(shù)要求。